什么是超快激光?
定義
超快激光是一類脈沖寬度小于或在皮秒級(jí)(2-10s)內(nèi)的超強(qiáng)超短脈沖激光,是根據(jù)能量輸出波形來(lái)定義的。這個(gè)定義與“超快現(xiàn)象”有關(guān)。超快現(xiàn)象是指在物質(zhì)微觀系統(tǒng)中,物理、化學(xué)或生物過(guò)程中發(fā)生的快速變化的現(xiàn)象。在原子分子系統(tǒng)中,原子和分子運(yùn)動(dòng)的時(shí)間尺度在皮秒到飛秒量級(jí)。例如分子轉(zhuǎn)動(dòng)的周期為皮秒量級(jí),振動(dòng)的周期為飛秒量級(jí)。當(dāng)激光脈沖寬度達(dá)到皮秒或飛秒量級(jí)時(shí),可以很大程度上避免對(duì)分子整體熱運(yùn)動(dòng)的影響(分子熱運(yùn)動(dòng)是物質(zhì)溫度的微觀本質(zhì)),而對(duì)材料產(chǎn)生的影響則集中在分子振動(dòng)的時(shí)間尺度上,這樣在達(dá)到加工目的的同時(shí),熱效應(yīng)大大降低。
類型
激光器的分類方法很多,其中最常用的分類方法有4種,包括按工作物質(zhì)分類、按能量輸出波形(工作方式)分類、按輸出波長(zhǎng)(顏色)分類、按功率分類。
其中,根據(jù)能量輸出波形不同,激光器可分為連續(xù)激光器、脈沖激光器、準(zhǔn)連續(xù)激光器:
連續(xù)激光
它是一種在工作時(shí)間內(nèi)持續(xù)輸出穩(wěn)定能量波形的激光器,特點(diǎn)是功率大,可以加工體積大、熔點(diǎn)高的材料,比如金屬板材。
脈沖激光
它以脈沖的形式輸出能量,按照脈沖寬度又可以分為毫秒激光器、微秒激光器、納秒關(guān)機(jī)、皮秒激光器、飛秒激光器、阿秒激光器;比如說(shuō),如果一個(gè)脈沖激光器輸出的激光器的脈沖寬度在2-2ns之間,我們稱之為納秒激光器,以此類推,我們稱之為皮秒激光器、飛秒激光器、阿秒激光器、超快激光器。脈沖激光器的功率比連續(xù)激光器低很多,但是加工精度比連續(xù)激光器高,而且一般來(lái)說(shuō),脈沖寬度越窄,加工精度越高。
準(zhǔn)連續(xù)激光器
它能在一定周期內(nèi)重復(fù)輸出較高的能量激光,理論上也是一種脈沖激光。
以上3種激光器的能量輸出波形也可以用“占空比”這個(gè)參數(shù)來(lái)描述,對(duì)于激光器來(lái)說(shuō),占空比可以理解為一個(gè)脈沖周期內(nèi)激光能量輸出的時(shí)間占總時(shí)間的比例。
連續(xù)激光占空比(=1)>準(zhǔn)連續(xù)激光占空比>脈沖激光占空比。一般脈沖激光的脈沖寬度越窄,占空比越低。
在材料加工領(lǐng)域,脈沖激光器最初是連續(xù)激光器的一個(gè)過(guò)渡產(chǎn)品,這是因?yàn)樵缙谶B續(xù)激光器受核心部件承載能力、技術(shù)水平等因素的影響,輸出功率不可能很高,無(wú)法將材料加熱到熔點(diǎn)以上達(dá)到加工的目的。如果采用一定的技術(shù)手段,將激光的輸出能量集中在一個(gè)脈沖上,這樣雖然激光的總功率不變,但是脈沖時(shí)刻的瞬時(shí)功率卻大大提高,滿足了材料加工的要求。后來(lái),連續(xù)激光技術(shù)逐漸成熟,人們發(fā)現(xiàn)脈沖激光在加工精度上有很大的優(yōu)勢(shì)。這是因?yàn)槊}沖激光對(duì)材料的熱影響較小,激光脈沖寬度越窄,熱影響越小,加工材料的邊緣越光滑,相應(yīng)的加工精度就越高。
旅行箱配件
超快激光器2大核心訴求:高穩(wěn)定性超短脈沖、高脈沖能量。一般采用鎖模技術(shù)可獲得超短脈沖,采用CPA放大技術(shù)可獲得高脈沖能量。涉及的核心部件包括振蕩器、展寬器、放大器、壓縮器等。其中振蕩器和放大器技術(shù)難度最大,也是超快激光器制造企業(yè)的核心技術(shù)。
振蕩器
在振蕩器中,利用鎖模技術(shù)獲得超快激光脈沖。
擔(dān)架
拉伸器將飛秒種子脈沖在時(shí)間上按不同的波長(zhǎng)拉伸開(kāi)。
擴(kuò)音器
使用啁啾放大器來(lái)充分激發(fā)該拉伸脈沖。
壓縮器
壓縮器將放大后的不同成分光譜匯集在一起??,并恢復(fù)到飛秒寬度,從而形成具有極高瞬時(shí)功率的飛秒激光脈沖。
應(yīng)用
與納秒、毫秒激光器相比,超快激光器雖然整體功率較低,但由于其直接作用于物質(zhì)分子振動(dòng)的時(shí)間尺度,實(shí)現(xiàn)了真正意義上的“冷加工”,因此加工精度大大提高。
高功率連續(xù)激光器、非超快脈沖激光器及超快激光器由于特性不同,在下游應(yīng)用領(lǐng)域存在很大差異:
高功率連續(xù)激光器(和準(zhǔn)連續(xù)激光器)用于切割、燒結(jié)、 焊接、表面熔覆、鉆孔、 3D 金屬材料的印刷。
非超快脈沖激光器用于非金屬材料打標(biāo)、硅材料加工、 精密雕刻 金屬表面處理、金屬表面清洗、金屬精密焊接、金屬微加工。
超快激光用于玻璃、PET、藍(lán)寶石等透明材料及硬脆材料的切割、焊接, 精密打標(biāo)、眼科手術(shù)、材料的微觀鈍化和蝕刻。
從使用場(chǎng)景來(lái)看,高功率連續(xù)激光器與超快激光器幾乎沒(méi)有相互替代關(guān)系,它們就像斧子和鑷子,大小各有優(yōu)缺點(diǎn)。非超快脈沖激光器的下游應(yīng)用與連續(xù)激光器、超快激光器存在一定的重疊,從實(shí)際結(jié)果來(lái)看,在同樣的應(yīng)用場(chǎng)景下,其功率不如連續(xù)激光器,精度不如超快激光器,更突出的是性價(jià)比。
尤其是納秒紫外激光器,雖然其脈沖寬度達(dá)不到皮秒級(jí),但加工精度較其他顏色納秒激光器有大幅提升,已在2C產(chǎn)品加工制造中得到廣泛應(yīng)用,未來(lái)隨著超快激光器成本的下降,或?qū)⒄碱I(lǐng)納秒紫外市場(chǎng)。
超快激光器實(shí)現(xiàn)真正意義上的冷加工,在精密加工方面具有顯著優(yōu)勢(shì)。隨著超快激光器生產(chǎn)技術(shù)逐漸成熟,成本逐漸下降,未來(lái)有望在醫(yī)療生物、航空航天、消費(fèi)電子、照明顯示、能源環(huán)境、精密機(jī)械等下游行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。
醫(yī)學(xué)美容
超快激光可用于醫(yī)療眼科手術(shù)設(shè)備和美容設(shè)備。飛秒激光用于近視手術(shù),被譽(yù)為繼波前像差技術(shù)之后“屈光手術(shù)的又一次革命”。近視患者的眼軸比正常眼軸要大,這樣在眼球放松的狀態(tài)下,平行光線經(jīng)眼屈光系統(tǒng)折射后的焦點(diǎn)落在視網(wǎng)膜前方。飛秒激光手術(shù)可以在眼軸維度上去除多余的肌肉,使眼軸距離恢復(fù)正常。飛秒激光手術(shù)具有精準(zhǔn)度高、安全性高、穩(wěn)定性高、手術(shù)時(shí)間短、舒適度高等優(yōu)點(diǎn),已成為目前最主流的近視手術(shù)方法之一。
在美容方面,超快激光可以用來(lái)去除色素及原生痣,去除紋身,改善皮膚老化等。
消費(fèi)類電子產(chǎn)品
超快激光適用于消費(fèi)電子制造過(guò)程中的硬脆透明材料加工、薄膜加工、精密打標(biāo)等。手機(jī)鋼化玻璃和藍(lán)寶石是消費(fèi)電子原材料中具有代表性的硬脆透明材料,尤其是藍(lán)寶石,由于其硬度高、脆性大,傳統(tǒng)加工方式的效率和成品率很低;藍(lán)寶石現(xiàn)在被廣泛應(yīng)用于智能手表、手機(jī)攝像頭蓋板、指紋模組蓋板等;納秒紫外激光和超快激光是目前切割藍(lán)寶石的主要技術(shù)手段,超快激光的加工效果優(yōu)于紫外納秒激光。另外,攝像頭模組、指紋模組所采用的加工手段主要是納秒和皮秒激光。對(duì)于柔性手機(jī)屏幕(可折疊屏)的切割以及相應(yīng)的 3D 未來(lái)玻璃鉆孔,主流技術(shù)很有可能是超快激光。
超快激光器在面板制造中也有重要應(yīng)用,超快激光器可用于LCD/OLED制造過(guò)程中OLED偏光片的切割、剝離、修復(fù)等。
對(duì)于OLED來(lái)說(shuō),其聚合物材料對(duì)于熱影響特別敏感,再加上目前制作的cell尺寸和間距都非常小,剩下的加工尺寸也非常小,像以前傳統(tǒng)的模切工藝已經(jīng)不適合如今產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)需求,而且現(xiàn)在還有異形屏、打孔屏的應(yīng)用需求,這些都超出了傳統(tǒng)工藝的能力范圍。這樣一來(lái)超快激光器的好處就體現(xiàn)出來(lái)了,特別是皮秒紫外甚至飛秒激光器,熱影響區(qū)小,更適合曲線加工等更靈活的應(yīng)用。
微焊接
對(duì)于玻璃等透明固體介質(zhì),超短脈沖激光在介質(zhì)中傳輸時(shí)會(huì)出現(xiàn)非線性吸收、熔融損傷、等離子體形成、燒蝕、光纖傳輸?shù)雀鞣N現(xiàn)象。圖為不同功率密度和時(shí)間尺度下超短脈沖激光與固體材料相互作用時(shí)出現(xiàn)的各種現(xiàn)象。
由于超短脈沖激光微焊接技術(shù)無(wú)需插入中間層、效率高、精度高、無(wú)宏觀熱效應(yīng)、微焊接處理后具有較為理想的力學(xué)性能和光學(xué)性能,非常適合玻璃等透明材料的微焊接。例如,研究人員利用70 fs、250 kHz脈沖成功地將端蓋焊接到標(biāo)準(zhǔn)和微結(jié)構(gòu)光纖上。
顯示照明
超快激光在顯示照明領(lǐng)域的應(yīng)用主要指LED晶圓的劃片和切割,這是超快激光適合加工硬脆材料的另一個(gè)例子,超快激光加工截面平整度高,邊緣崩邊現(xiàn)象明顯減少,效率和精度大大提高。
光伏能源
超快激光在光伏電池制造中有著廣闊的應(yīng)用空間,例如在CIGS薄膜電池制造中,超快激光可以替代原有的機(jī)械劃片工藝,顯著提高劃片質(zhì)量,特別是對(duì)于P2、P3劃片環(huán)節(jié),可以實(shí)現(xiàn)幾乎不崩片,且無(wú)裂紋和殘余應(yīng)力。
航空航天
為了提高渦輪葉片的性能和使用壽命,進(jìn)而提高發(fā)動(dòng)機(jī)的性能,必須采用氣膜冷卻技術(shù),這對(duì)氣膜孔加工技術(shù)提出了極高的要求。2018年,西安光機(jī)所研制出國(guó)內(nèi)單脈沖能量最高的26瓦工業(yè)級(jí)飛秒光纖激光器,并開(kāi)發(fā)出一系列超快激光極限制造裝備,實(shí)現(xiàn)了航空發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪葉片氣膜孔“冷加工”的突破,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。這種加工方法比電火花加工方法精度更高,成品率大大提高。
超快激光還可應(yīng)用于纖維增強(qiáng)復(fù)合材料的精密加工,加工精度的提高有助于擴(kuò)大碳纖維等復(fù)合材料在航空航天等高端領(lǐng)域的應(yīng)用。
研究領(lǐng)域
雙光子聚合技術(shù)(2PP)是一種“納米光學(xué)” 3D 打印方法,類似于光固化快速成型技術(shù),未來(lái)學(xué)家克里斯托弗·巴納特認(rèn)為,這種技術(shù)可能成為一種主流形式 3D 未來(lái)的打印。雙光子聚合技術(shù)的原理是利用“飛秒脈沖激光”選擇性固化感光樹(shù)脂。聽(tīng)起來(lái)像光固化快速成型,不同之處在于雙光子聚合技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)的最小層厚度和XY軸分辨率在2納米到2納米之間。換句話說(shuō),2PP 3D 打印技術(shù)比傳統(tǒng)的光固化成型技術(shù)精確數(shù)百倍,打印的東西比細(xì)菌還要小。
目前超快激光器的價(jià)格還比較昂貴,作為行業(yè)先行者, STYLECNC目前已投產(chǎn)超快激光加工設(shè)備,并取得良好的市場(chǎng)反饋?;诔旒す饧夹g(shù)的OLED模組激光精密切割設(shè)備、超快(皮秒/飛秒)激光打標(biāo)設(shè)備、皮秒紅外顯示屏玻璃倒角激光加工設(shè)備、皮秒紅外玻璃晶圓激光切割設(shè)備、LED全自動(dòng)隱形劃片機(jī)、半導(dǎo)體晶圓 激光切割機(jī)、指紋識(shí)別模組玻璃蓋板切割設(shè)備、柔性顯示量產(chǎn)線等一系列超快激光產(chǎn)品。
贊成&反對(duì)
優(yōu)點(diǎn)
超快激光是激光領(lǐng)域重要的發(fā)展方向之一,作為新興技術(shù),在精密微加工方面具有顯著的優(yōu)勢(shì)。超快激光產(chǎn)生的超短脈沖與材料相互作用的時(shí)間極短,不會(huì)給周圍材料帶來(lái)熱量,所以超快激光加工又稱為冷加工。這是因?yàn)?,?dāng)激光脈沖寬度達(dá)到皮秒或飛秒量級(jí)時(shí),可以很大程度上避免對(duì)分子熱運(yùn)動(dòng)的影響,從而產(chǎn)生較少的熱影響。
比如我們用鈍的菜刀切皮蛋,經(jīng)常會(huì)把皮蛋切得很碎。如果選擇刀口特別鋒利,切得又快又干凈的切法,皮蛋就會(huì)切得又均勻又漂亮。這就是超級(jí)快的好處。
缺點(diǎn)
集成電路、面板等高端制造行業(yè)對(duì)激光加工設(shè)備要求極高,存在技術(shù)突破不及預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn)。
超快激光器價(jià)格高昂,轉(zhuǎn)換新的激光器供應(yīng)商無(wú)論對(duì)于激光設(shè)備制造商還是最下游的用戶來(lái)說(shuō)都存在無(wú)法按預(yù)期擴(kuò)大市場(chǎng)的風(fēng)險(xiǎn)。